碳化硅垫片

Items                                  名称Unit    

          单位95%Al2O399%Al2O3

Density                                  密度g/cm33.63.9

Flexural Strength                      抗弯强度MPa     313340

Compressive Strength                    抗压强度MPa34003600

Modulus of Elasticity                  弹性模量GPa350380

Impact Resistance                      抗冲击强度MPa•m1/245.1

Weibull Modulus                        维泊尔系数m1010

Vickers Hardness                        维氏硬度HV0.515001650

Thermal Conductivity                   导热系数W/mk2427

Highest Application Temperature          最高使用温度℃17501750

Volume Resistivity at 20℃              20℃体积电阻Ω.cm20>1014>1014

Dielertric strength                     电介质强度KV/mm2025

Thermal expansion                        热膨胀系数X10-6/K5.0-8.35.4-8.3