碳化硅密封环

Items                                  名称 Unit    

          单位 95%Al2O3 99%Al2O3

Density                                  密度 g/cm3 3.6 3.9

Flexural Strength                      抗弯强度 MPa      313 340

Compressive Strength                    抗压强度 MPa 3400 3600

Modulus of Elasticity                  弹性模量 GPa 350 380

Impact Resistance                      抗冲击强度 MPa•m1/2 4 5.1

Weibull Modulus                        维泊尔系数 m 10 10

Vickers Hardness                        维氏硬度 HV0.5 1500 1650

Thermal Conductivity                   导热系数 W/mk 24 27

Highest Application Temperature          最高使用温度 ℃ 1750 1750

Volume Resistivity at 20℃              20℃体积电阻 Ω.cm20 >1014 >1014

Dielertric strength                     电介质强度 KV/mm 20 25

Thermal expansion                        热膨胀系数 X10-6/K 5.0-8.3 5.4-8.3